Oberflächencharakterisierung

Schichtdickenbestimmung und Oberflächencharakterisierung von Polystyrolfilmen

  • Versuchsbeginn: 9:00 Uhr
  • Vorbesprechung: S2|04 2
  • Standort des Experiments: S2|04 109
  • Versuchskennziffer: 3.31
  • Versuchsanleitung: Oberflächencharakterisierung
  • Sie werden im Chemielabor arbeiten:
    Bringen sie bitte festes Schuhwerk und lange Beinkleider mit!

Miniaturisierung elektronischer Bauteile, Gewichtsreduzierung bei verbesserter mechanischer Stabilittät und das Bestreben nach Platzersparnis begründen das technologische Interesse an der Herstellung von dünnen und ultradünnen Polymerschichten und -folien.

Bei Schichtdicken unter 200 nm spricht man von ultradünnen Beschichtungen. Sowohl für optische Sensoren als auch für die Mikroelektronik sind Polymerbeschichtungen von Interesse.

In diesem Versuch werden Siliziumeinkristalle mit Polystyrol mittels der Rotationsbeschichtung beschichtet und der Einfluss verschiedener Parameter untersucht. Dazu werden die Schichtdicken mit Ellipsometrie vermessen und die Oberflächenstruktur mittels Rasterkraftmikroskopie analysiert. Im Mittelpunkt stehen dabei die theoretischen Grundlagen von Polymerbeschichtungen sowie die Grundlagen und Funktionsweisen der einzelnen Messmethoden. Die Versuchsergebnisse werden mit theoretischen Modellen verglichen.

Literatur

Die Literaturrecherche ist an Hand von den im Skript angeführten Quellen selbstständig durchzuführen.